Gelest ALD Precursor 제품 안내 및 견적 상담

안녕하세요, 주식회사 후사이언티픽입니다.

본 문서는 Gelest에서 제공하는 ALD(Atomic Layer Deposition, 원자층 증착) 공정용 전구체(Precursor) 목록을 정리한 기술자료입니다. 이 문서는 다양한 금속, 반금속, 비금속 원소 기반의 화합물 전구체 정보를 포함하며, 해당 시약의 화학명(Chemical Name) 및 Gelest 제품 코드(Product Code)를 중심으로 정리되었습니다.

주요 응용 분야는 반도체 증착, 박막 형성, 표면개질, 나노소재 합성 등으로, 연구소, 대학, 반도체 및 디스플레이 제조업체 등에서 활용 가능합니다. 본 문서는 구매 또는 기술적 검토에 필요한 기본 정보를 제공하는 목적이며, 제품별로 CAS 번호 및 용도에 따라 별도 상담이 필요한 경우 주식회사 후사이언티픽으로 문의해주시기 바랍니다.

■ 제품명 및 Gelest Code 목록

• Dimethyl Aluminum Isopropoxide - Gelest Code: OMAL025
• Cobalt tris(tetramethylhepta-3,5-dionate) - Gelest Code: AKC240
• Cobalt Cyclopentadienyldicarbonyl - Gelest Code: OMCO018
• Cobalt Carbonyl ($Co_2(CO)_8$) - Gelest Code: INCO030
• Cobalt Tricarbonyl Nitrosyl ($Co(CO)_3NO$) - Gelest Code: INCO032
• Copper Acetylacetonate - Gelest Code: AKC260
• Copper II Hexafluoropentanedionate, dihydrate - Gelest Code: AKC253
• Copper (I)(II) Hexafluoropentanedionate - VTMS - Gelest Code: AKC252.8
• Tetrakis(ethylmethylamido) Hafnium (TEMAH) - Gelest Code: OMHF083
• Tetrakis(dimethylamido) Hafnium (TDMAH) - Gelest Code: OMHF080
• Tetrakis(diethylamino) Hafnium (TDEAH) - Gelest Code: OMHF075
• Lanthanum tris(tetramethylhepta-3,5-dionate) - Gelest Code: AKL435
• Tris[bis(trimethylsilyl)amino] Lanthanum - Gelest Code: SIL6464.0
• Lithium t-butoxide - Gelest Code: AKL454
• Lithiohexamethyldisilazane (LIHMDS) - Gelest Code: SIL6467.0
• Manganese tris(tetramethylhepta-3,5-dionate) - Gelest Code: AKM546
• Nickel(acetylacetonate) - Gelest Code: AKN580
• Trioctylphosphine (TOP) - Gelest Code: OMPH080
• Dicyclopentadienyl Ruthenium - Gelest Code: OMRU055
• Ruthenium Bis(ethylcyclopentadiene) - Gelest Code: OMRU027
• Tris(dimethylamino)antimony - Gelest Code: OMAN080
• Bis(trimethylsilyl)selenide - Gelest Code: SIB1871.0
• Tris(dimethylamino)silane - Gelest Code: SIT8714.0
• Di(t-butylamino)silane (BTBAS) - Gelest Code: SID2795.0
• Hexachlorodisilane (HCDS) - Gelest Code: SIH5905.0
• Dichlorosilane ($SiCl_2H_2$) - Gelest Code: SID3368.0
• Tetrakis(dimethylamino)silane - Gelest Code: SID7276.0
• Tri(t-butoxy)silanol - Gelest Code: SIT8088.0
• Tri(t-pentoxy)silanol - Gelest Code: SIT8627.0
• Bis(dimethylamino)dimethylsilane (BDMADMS) - Gelest Code: SIB1072.0
• Perfluorodecyltrichlorosilane (FDTS) - Gelest Code: SIH5841.0
• Tetraiodosilane (Sil4) - Gelest Code: SIT7123.0
• Diiodosilane (SiH2I2) - Gelest Code: SID3520.0
• Hexamethyldisilazane (HMDS) - Gelest Code: SIH6110.0
• Octamethylcyclotetrasiloxane (OMCTS) - Gelest Code: SIO6700.0
• Silicon Tetrachloride (SiCl4) - Gelest Code: SIT7085.0
• Tetramethyldisiloxane (TMDO) - Gelest Code: SIT7546.0
• Tetramethyldisilazane (TMDS) - Gelest Code: SIT7542.0
• Trisilane - Gelest Code: SIT8709.6
• 7-Octenyltrichlorosilane - Gelest Code: SIO6708.0
• Tetrakis(dimethylamino) Tin (Sn(DMA)4) - Gelest Code: SNT7350
• Tetramethyltin (TMT) - Gelest Code: SNT7560
• Butyltrichlorotin ($BuSnCl_3$) - Gelest Code: SNB2000
• Tetrakis(diethylamino) Tin ($Sn(DEA)_4$) - Gelest Code: SNT7294
• Pentakis(dimethylamido) tantalum (PDMAT) - Gelest Code: OMTA075
• Tantalum Ethoxide ($Ta(OEt)_5$) - Gelest Code: AKT810
• (t-butylimido)tris(diethylamido)tantalum (TBTDET) - Gelest Code: OMTA082
• Tantalum pentafluoride (TaF5) - Gelest Code: INTA075
• Tris(Diethylamino)t-butylimino tantalum - Gelest Code: OMTA082
• Bis(trimethylsilyl)tellurium - Gelest Code: SIB1873.0
• Titanium Tetrachloride (TiCl4) - Gelest Code: INT1065
• Tetrakis(dimethylamido) titanium (TDMAT) - Gelest Code: OMT1080
• Titanium Isopropoxide ($Ti(OiPr)_4$) - Gelest Code: AKT872
• tetrakis(diethylamido)titanium (TDEAT) - Gelest Code: OMT1075
• tetrakis(ethylmethylamido)titanium (TEMAT) - Gelest Code: OMT1083
• Titanium Methoxide (Ti(OMe)4) - Gelest Code: AKT880
• Diethyl Zinc (DEZ) - Gelest Code: OMZN017
• Tetrakis(ethylmethylamido) zirconium (TEMAZ) - Gelest Code: OMZR083
• Tetrakis(dimethylamido) zirconium (TDMAZ) - Gelest Code: OMZR080
• Zirconium Tetrachloride (ZrCl4) - Gelest Code: INZR0665
• Zirconium Tris(2,2,5,5-tetramethyl-2,5-disilapyrrole)chloride (TMPZ) - Gelest Code: SIZ9920.0
• Zirconium 2-methyl-2-butoxide (Zr(OtAm)4) - Gelest Code: AKZ965
• Zirconium Trimethylsilylethoxide - Gelest Code: AKZ990

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